典型值材质全氟橡胶（FFKM）颜色黑硬度，Shore A85100%模量，Mpa13.33抗拉强度，Mpa20.94延展性，%135压缩变形204°C - 70h - 8%300°C - 70h - 32%325°C - 70h - 59%最高工作温度, °C325典型应用工艺ALD原子层沉积: 250 °C - 300 °CLPCVD低压力化学气相沉积:250 °C - 300 °CMetal
